激光位移傳感器
激光位移傳感器

重復精度:最高可達0.02μm

線性精度:±0.02%F.S.

采樣頻率:最高590kHz


配控制器 點激光 FSD-LK系列
  • 性能特點
  • 產品規格
  • 尺寸
  • 接線
  • 下載

· 核心優勢:定位高端工業測量,以高精度、高速度、高靈敏三大核心性能,應對極限測量挑戰。

· 測量距離25197mm多量程可選,滿足多數常規距離測量需求;

· 輸出方式:支持網口TCP/IPRS2324-20mA電流、0-10V電壓等多種輸出,適配不同系統接口;

· 極致精度:線性精度±0.02%F.S.,重復精度0.02μm,絕對精度1.2μm,達到微米級測量頂尖水平;

· 超強擴展:專業控制器支持14傳感頭,實現多工位同步測量,降低多軸系統成本;

· 智能功能590KHz超高采樣頻率,可存儲120萬條測量數據,支持三軸差分編碼器觸發,完美銜接運動控制系統,實現測量-反饋-控制閉環;

· 適用場景:航空航天部件形位公差檢測、半導體晶圓厚度測量、精密儀器校準等對精度與動態性能要求嚴苛的高端場景。



小光點FSD-LK3030FSD-LK5020FSD-LK5050FSD-LK5080FSD-LK5150
寬光點FSD-LK3035FSD-LK5025FSD-LK5055FSD-LK5085FSD-LK5155
參考距離30mm20mm50mm80mm150mm
測量范圍-5至5mm-3至3mm-9至8mm-19至16mm-47至35mm
安裝距離25-35mm17-23mm42-59mm64-99mm115-197mm
光點
直徑
小光點Φ60μmΦ45μmΦ75μmΦ110μmΦ190μm
寬光點60*400μm45*400μm75*400μm110*720μm190*1300μm
重復精度0.05μm0.02μm0.025μm0.1μm0.25μm
線性精度±0.05% F.S.
(±5μm)
±0.02% F.S.
(±1.2μm)
±0.02% F.S.
(±3.4μm)
±0.02% F.S.
(±7μm)
±0.02% F.S.
(±16.4μm)
采樣頻率(Hz)1/2/5/10/20/
50/88kHz
(可選 7 種級別)
1/2/5/10/20/50/88/200/400/590kHz
(可選10種級別)
光源類型光源波長:655nm;激光等級:2類;激光輸出功率:5mW
溫度特性±0.01%的 F.S. /℃



通信端口1 個 100Base-TX/1000Base-T 以太網接口,1 個 RS232
模擬量輸出1 路模擬量輸出,支持模擬電壓和模擬電流切換
編碼器輸入1 組差分編碼器
IO 輸入14路,支持計時、歸零、重置、激光控制、配方切換等功能
IO 輸出16路,判定狀態輸出
儲存溫度-20~70℃
工作溫度0~50℃
工作濕度35%~85%無凝露
EFT防護電源端口2kV/5或100kHz、信號端口1kV/5或100kHz,符合IEC 61000-4-4標準
ESD防護接觸放電4kV、空氣放電8kV,符合IEC 61000-4-2標準
振    動10Gs (10-500Hz) ,符合 IEC 68-2-6 Fc 標準
沖    擊每軸50Gs/3ms,符合IEC 68-2-27 Ea標準
IP 等 級IP67,符合IEC 60529標準
配線型號SCB-GICAM-HA2-3m/5m/10m
尺寸(mm)90*75*3860x61x4169x71x4775x70x4785x76x47
重量(包括線纜)324g324g323g329g370g


控制器
參數/型號FSD-LK5001
最大可接入傳感頭數量最多為4臺(支持FSD-LK5000,FSD-LK3000傳感頭)
使用2臺或2臺以上時傳感頭必須為相同型號
采樣周期(觸發間隔)FSD-LK3000傳感頭最高88kHz,FSD-LK5000傳感頭最高590kH
以太網接口數值輸出
連接計算機應用軟件,除了上述功能,還可以上傳或下載檢測設定
1000BASE-T/100BASE-TX
串口RS232(全雙工)
開關量輸入定時(同步)輸入、歸零(同步)輸入、復位(同步)輸入、定時(二進制)輸入、歸零(二進制)輸入、復位(二進制)輸入、激光控制輸入、二進制選擇輸入、程序編號切換輸入
可適配NPN型和PNP型的輸出
開關量輸出比較器輸出NPN型集電極開路輸出
選通輸出
模擬量輸出模擬輸出數4路
電壓輸出0~10V輸出,輸出阻抗:100Ω
電流輸出4~20mA輸出,最大容許負載阻抗:3000Ω
編碼器輸入1組:兼容RS-422線性驅動輸出(帶5V輸出:最大150 mA),或集電極開路輸出支持5V/12V/24V,需外部串聯限流電阻)
編碼器輸入
響應頻率
單相/Z相1.6MHz 2相/1遞增1.6MHz 2相/2遞增3.2MHz 2相/4遞增6.4MHZ
單相/Z相100kHz 2相/1遞增100kHz 2相/2遞增200kHz 2相/4遞增400kHz
電源電壓24VDC士10%
最大消耗電流2.25A
環境溫度0~50°C(底面安裝)
使用環境濕度35%~85%RH(無凝結)
尺寸(mm)182x139x64
重量(g)1600



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